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據(jù)介紹，該平臺是內(nèi)地高校系統(tǒng)中獨立建成的規(guī)模最大、工藝最完整、運營職業(yè)化的化合物半導(dǎo)體光電芯片公共服務(wù)平臺之一。中心建筑面積2600平方米，其中千級、百級及萬級潔凈區(qū)面積達2100平方米。是深圳市首個同時支撐化合物光電芯片與MEMS傳感芯片上游制造的公共服務(wù)平臺，配置120余臺套先進教學(xué)與研發(fā)工藝設(shè)備，構(gòu)建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系，可提供“設(shè)計—加工—封裝—測試”一站式技術(shù)解決方案。
深圳技術(shù)大學(xué)黨委書記陳秋明表示，該校半導(dǎo)體微納加工中心與測試平臺依托學(xué)校集成電路與光電芯片學(xué)院資源，致力于成為集工藝教學(xué)、前沿研發(fā)、中試驗證和產(chǎn)業(yè)服務(wù)于一體的微納加工技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新高地和人才培養(yǎng)基地，將加快破解半導(dǎo)體光電產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)，推動半導(dǎo)體與集成電路領(lǐng)域研究成果的工程化突破、產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用、市場化推廣。
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