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據(jù)介紹，該平臺是內(nèi)地高校系統(tǒng)中獨立建成的規(guī)模最大、工藝最完整、運營職業(yè)化的化合物半導體光電芯片公共服務平臺之一。中心建筑面積2600平方米，其中千級、百級及萬級潔凈區(qū)面積達2100平方米。是深圳市首個同時支撐化合物光電芯片與MEMS傳感芯片上游制造的公共服務平臺，配置120余臺套先進教學與研發(fā)工藝設備，構(gòu)建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系，可提供“設計—加工—封裝—測試”一站式技術(shù)解決方案。

深圳技術(shù)大學黨委書記陳秋明表示，該校半導體微納加工中心與測試平臺依托學校集成電路與光電芯片學院資源，致力于成為集工藝教學、前沿研發(fā)、中試驗證和產(chǎn)業(yè)服務于一體的微納加工技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新高地和人才培養(yǎng)基地，將加快破解半導體光電產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)，推動半導體與集成電路領(lǐng)域研究成果的工程化突破、產(chǎn)業(yè)化應用、市場化推廣。

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