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據(jù)介紹，該平臺(tái)是內(nèi)地高校系統(tǒng)中獨(dú)立建成的規(guī)模最大、工藝最完整、運(yùn)營(yíng)職業(yè)化的化合物半導(dǎo)體光電芯片公共服務(wù)平臺(tái)之一。中心建筑面積2600平方米，其中千級(jí)、百級(jí)及萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)面積達(dá)2100平方米。是深圳市首個(gè)同時(shí)支撐化合物光電芯片與MEMS傳感芯片上游制造的公共服務(wù)平臺(tái)，配置120余臺(tái)套先進(jìn)教學(xué)與研發(fā)工藝設(shè)備，構(gòu)建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測(cè)試表征等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系，可提供“設(shè)計(jì)—加工—封裝—測(cè)試”一站式技術(shù)解決方案。

深圳技術(shù)大學(xué)黨委書(shū)記陳秋明表示，該校半導(dǎo)體微納加工中心與測(cè)試平臺(tái)依托學(xué)校集成電路與光電芯片學(xué)院資源，致力于成為集工藝教學(xué)、前沿研發(fā)、中試驗(yàn)證和產(chǎn)業(yè)服務(wù)于一體的微納加工技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新高地和人才培養(yǎng)基地，將加快破解半導(dǎo)體光電產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)，推動(dòng)半導(dǎo)體與集成電路領(lǐng)域研究成果的工程化突破、產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用、市場(chǎng)化推廣。

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